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AlignxB 晶圆对准传感器为紧凑型传感器，主要用于固体及透明晶圆的对准。高性能光学组件搭配精密校准，可实现精准边缘测量。图像数据在传感器内部完成处理，无需外接控制器。
产品特性
高性能晶圆（固体与透明晶圆）对准激光传感器
测量速度快：每秒 2560 次测量（可定制最高 5000 次 / 秒）
紧凑型传感器，配备并行接口，便于角度同步
USB 接口，用于调试排查
红光 (670 nm) 或蓝光 (405 nm)，1 类激光器件
每台传感器出厂单独校准，保证高精度
具备环境光抑制功能
技术参数
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 检测方式 | 透射式激光，CCD 图像传感器 |
| 光源 | 405 nm 或 670 nm，1 类激光二极管 |
| 测量范围 | 140 微米（0.006 英寸）~ 28 mm（1.10 英寸） |
| 分辨率 | 并行接口：14 (7) μm；USB 接口：0.4375 μm |
| 重复性 | 并行接口：14 μm；USB 接口：3 μm |
| 响应时间 | 0.391 ms |
| 非线性度 | 0.1% |
| 供电 | 12~24 VDC / 170mA，或 USB 供电 |
| 逻辑电平 | 0V（逻辑 0），5V（逻辑 1） |
| 连接端口 | 2×10 针双排排针，Mini-B USB |
| 输入输出接口 | 并行二进制（5V 逻辑）、USB |
| 状态指示灯 | 绿色 LED = 传感器上电；蓝色 LED = 检测到被测物 |
| 数据格式 | 11 (12) 位并行，USB |
| 数据量程 | 0 ~ 2000（4000）像素 |
| 外形尺寸 | 97.8 mm × 71.1 mm × 21.6 mm（3.85 in × 2.80 in × 0.85 in） |
| 重量 | 170g（5.9oz） |
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