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AlignxB 晶圆对准传感器为紧凑型传感器,主要用于固体及透明晶圆的对准。高性能光学组件搭配精密校准,可实现精准边缘测量。图像数据在传感器内部完成处理,无需外接控制器。产品特性高性能晶圆(固体与透明晶圆)对准激光传感器测量速度快:每秒 2560 次测量(可定制最高 5000…
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