美国Gaertner Scientific多波长激光椭偏仪LSE-WS

多波长激光椭偏仪使用户在测量透明与半透明薄膜的厚度和折射率时具有灵活性与准确性。激光光源强度充足，可提升对吸收性薄膜和粗糙散射薄膜的测量精度。激光光源还具备光谱精确、稳定、使用寿命长的优势。独立的激光光源提供了重要的备份可靠性，适用于连续运行。

产品特点

• 测量厚膜时无厚度周期模糊性问题。

• 可变波长适用于难测薄膜。

• 在接近周期区间获得折射率。

• 先进、无故障、无移动部件的 StokesMeter™ 测量头。

• 可测量完整偏振态，适用于粗糙、散射样品。

• 可在更接近曝光波长的条件下测量光刻胶折射率。

• 通过两至三个折射率值获取色散信息。

• 可分析难测薄膜，如多晶硅、等离子氮化硅、蓝宝石上硅等。

• 利用更多测量数据优化复杂结构的建模结果。

• 相比光谱椭偏仪，结构更简单、操作更便捷。

斯托克斯椭偏仪可选激光波长

• 405 nm 激光二极管

• 544 nm 氦氖气体激光器

• 633 nm 氦氖气体激光器（标准配置）

• 830 nm 激光二极管