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GCI E84 模拟器是用于开发、实施和验证符合 SEMI® E84™ 标准产品的测试设备。E84 模拟器提供自动化测试程序,用于测试有源和无源设备的并行输入/输出控制信号。SEMI® E84™ 标准定义了晶圆制造设施中自动物料搬运系统与生产设备之间传输过程中使用的控制信号。E84 模拟器通过 …
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